电子束蒸发镀膜机是一种重要的工具，用于在基材表面沉积高纯度的金属或非金属薄膜。其工作原理基于电子束轰击靶材，使之蒸发并沉积到基片上。为了更好地理解这一精密设备的工作机制，本文将详细介绍电子束蒸发镀膜机的主要组成部件及其功能特点。一、真空系统1、真空泵真空泵是维持镀膜腔体内高真空环境的关键组件。常见的类型包括机械泵、扩散泵和涡轮分子泵等。不同类型的泵适用于不同的真空度要求。高效的真空泵能够迅速抽走腔...