用于沉积纳米级薄膜、纳米粉末包覆、长深孔样品镀膜;具有Thermal-ALD、PEALD、Particle-ALD和生产型ALD;具备近100种膜层工艺。应用领域：芯片封装、半导体High-k介电层、纳米涂层、3D涂层、锂电池、催化剂、太阳能电池、5G通讯（SAW器件）、生物医学仿生、荧光材料、OLED显示、有机材料、电子电路、光学膜等。

Laser MBELaser MBE特点模块化概念，Laser MBE可以轻松升级到传输模块或其他模块UHV PLD主腔室、利用Load-lock实现衬底和靶材的UHV传输*的工艺自动化功能，可实现超晶格生长温度测量准确的耐氧衬底加热器，1000 ℃，也可以选配激光加热靶台可以屏蔽交叉污染，传输整个carrousel而非单个靶材真空腔室利于系统升级。