PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）是一种通用的聚合材料，适用于许多成像和非成像微电子系统。PMMA光刻胶是将PMMA聚合物溶解在诸如苯甲醚之类的安全溶剂中，曝光会导致聚合物链断裂。PMMA作直写式电子束的高分辨率正性光刻胶，它具有*的分辨率，易于处理和出色的薄膜特性。PMMA还可用作晶圆薄化的保护涂层，粘结粘合剂和刻蚀层。

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