DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm）的的重复性，扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大里程碑是 Dektak® 五十多年创新和地位的。DektakXT 结合了一的技术和设计，可提供的性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。

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更新时间：2022-05-10
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布鲁克bruker轮廓仪 利用*的直接驱动扫描样品台，将测量时间加快 40%，同时保持行业的性能。Vision64 是布鲁克的 64 位并行处理操作和分析软件，能够更快地加载 3D 形貌文件，并更快地应用筛选器和多区域数据库分析。

单拱门结构设计使 布鲁克bruker轮廓仪 更坚固，从而将环境噪音的影响降至低。DektakXT 升级的"智能电子设备"可降低温度变化的影响，并采用现代处理器，大限度地减少噪声水平，使其成为能够测量<10nm 台阶高度的更强大的系统。

布鲁克的 Vision64 软件通过提供直观、简化的用户可视化界面，加入到 DektakXT 的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析，还是应用自定义筛选器设置和计算，DektakXT 的数据分析器都能显示当前分析结果，同时显示其他可能的分析工具。

DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针中的任何潜在风险。布鲁克提供广泛的探针尺寸和形状，几乎满足任何应用需求。

DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式，以可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。

布鲁克Bruker Dektak XT探针式轮廓仪 (图1)

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