高分辨率光学膜厚测量FR-pRo测厚仪干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器

高分辨率 光学 膜厚测量 FR-pRo 测厚仪

干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所的。

FR-pRo是模块化和可扩展的测量仪器系列，可根据客户需求量身定制，并且能够通过标准的吸光度/透射率和反射率测量，以及在温度和环境受控环境下进行薄膜表征，在各种不同的应用中使用。

应用领域：
1、半导体晶片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU）
3、微机电系统
4、光纤产品
5、数据存储盘（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程

产品特点：

1 、非接触式测量：避免物件受损。
2 、可测多层薄膜厚度，厚度范围：1nm-3mm。

3、光谱：200-2500nm。
4 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
5、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。
6、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。
7 、扫描仪：闭环控制系统。
8、工作台：气动装置、抗震、抗压。
9 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算