美国PIE等离子清洗机基本型等离子等离子体表面处理扩展型等离子清洗机一、美国PIE等离子清洗机应用等离子清洗机清除样品表面的污染物，去除光阻胶：产生表面活性功能组

美国PIE等离子清洗机 基本型等离子 等离子体表面处理 扩展型等离子清洗机

一、美国PIE等离子清洗机应用

等离子清洗机清除样品表面的污染物，去除光阻胶：产生表面活性功能组；

清洗提高材料表面亲水性及疏水性，清洗生物芯片、微流控芯片，PDMS；

表面活化：渲染表面的亲水性或疏水性，键合和沉积前的表面预处理

表面聚合：沉积带官能分子团的聚合物，移植聚合物到活化后的材料表面；

表面改性：在材料表面产生官能分子团，高分子材料表面修饰；

去除表面残留微生物，的消毒和

二、美国PIE等离子清洗机的特点
1、13.56MHz高频射频发生器；

2、7英寸触摸屏控制界面，全自动操作；

3、标配75W版本，可选150W版本；

4、系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化。

三、美国PIE等离子清洗机技术参数

1、控制系统

1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。

2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤。

2、反应腔体

1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱；

2）腔体容积：2.6L；

3）腔体尺寸：内径：110毫米，深度：280毫米。

3、射频电源

1）射频频率：13.56MHz；

2）射频功率：标配0~75W；从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调，可选0~150W

4、等离子源

1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。

2）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。

5、气体控制

1）气路控制：标配一路MFC；可选配三路MFC；

2）质量流量计可以在0~100sccm之间准确控制气体流量；

3）一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。