德国BrukerContourX白光干涉光学轮廓仪•样品尺寸:•150mmx150mmx92mm•承载4.5kg•垂直分辨率:•横向分辨:•0.3µm(±150nm)•AcuityXR0.15µm(±75nm)•基于白光干涉原理

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