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:CLS 5000

:CLS 5000 是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-09-16
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:CLS 5000

      是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。



CLS 5000技术参数:

激光介质

ArF

KrF

XeCl

波长 (nm)

193

248

308

脉冲能量 (mJ)

15

25

12

重复频率 (Hz)

500

平均功率 (W)

7.5

12.5

  6

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

12 х 4

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

10 – 12

冷却方式

水冷

重量 (kg)

85

尺寸 (LхWхH, mm)

890 х 340 х 460

电源

220 V, 50-60 Hz,  < 1000 VA



可选功能和附件:


可能配置1000和2000赫兹


CLS 5000主要特点:


非常高的光束指向稳定性

高重复频率

能量稳定性好

设计紧凑

内置能量控制

带磁转换发生器


应用:


布拉格光栅

无掩膜光刻

准分子材料加工

激光视力矫正


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