微纳器件制造持续向极小尺度发展，传统光刻手段难以实现复杂三维结构成型，制约微加工领域的研发进程。双光子激光3D光刻机依托双光子吸收效应，实现树脂材料局部光聚合，用于高精度三维微结构制备。依托各精密组件协同调控光路与位移，
双光子激光3D光刻机能够实现纳米级精细加工，支撑微机电、生物材料等前沿方向的样品试制。
1、飞秒激光发射单元
该单元是设备的光源核心，输出超短脉冲激光，满足双光子激发所需的高光强条件。输出光束稳定性较强，脉冲参数可控，能够持续提供加工所需的激发光源。光束质量直接影响成型分辨率，配套光路校准结构，降低光束漂移带来的加工误差。
2、精密光学调控系统
光学系统包含衰减片、振镜、物镜等元件，负责调节激光功率、调控扫描路径，并将光束聚焦至加工平面。可灵活调整焦点位置，精准控制聚合反应发生区域，抑制旁侧光引发的无效固化，保障微结构轮廓清晰，适配不同尺寸样品的加工需求。
3、三维纳米位移平台
位移平台承载样品基板，能够实现三轴高精度移动。平台运行平稳，位移步长微小，配合激光扫描完成逐层成型。平台具备良好抗震性能，减少振动造成的结构形变，保证多层微结构之间对位准确，提升成品结构完整性。
4、样品承载与环境腔体
腔体为微纳加工提供稳定密闭空间，可减少空气扰动、温度波动干扰加工进程。内部放置光敏树脂基板，部分腔体支持气氛调控，降低树脂氧化带来的成型缺陷。腔体便于观察加工过程，同时起到防尘防护作用，保护内部光学元件不受污染。
5、上位机控制与检测模块
控制系统统一管理激光开关、扫描轨迹、平台运动等全部工序，导入三维模型后自动生成加工路径。配套实时观测光路，可在线查看加工状态。模块可记录加工参数，便于工艺复现，方便研究人员调整激光功率、扫描速度等工艺条件，持续优化微纳结构成型效果。
更新时间：2026-08-01 
浏览次数：2
新闻资讯
我的位置：