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德国Diener 等离子蚀刻机Tetra 8 RIE

德国Diener等离子蚀刻机Tetra8RIE用途:表面清洗活化表面蚀刻Tetra8RIE产品特点:适用于8"以下样品的处理等离子蚀刻机

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-11-04
  • 访  问  量:130
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德国Diener 等离子蚀刻机Tetra 8 RIE




用途:



表面清洗活化

表面蚀刻




Tetra 8 RIE 产品特点:





适用于8"以下样品的处理

等离子蚀刻机,可实现快速且一致的样品表面刻蚀

全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布

电极水冷确保了样品的温度不会偏高

工业Windows控制系统,多段程序控制功能,实现一键蚀刻功能

适合于研究院、高校、研发中心等使用,也可小批量生产

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