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德国海德堡 VPG+800/VPG+1400大幅面掩膜版制作激光光刻机

VPG+800/VPG+1100/VPG+1400大尺寸超高速圖形發生器TheMulti-PurposeVolumePatternGenerators光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统VPG+大尺寸曝光系统适合用于封装,半导体,显示器,彩色滤光片,LED和触摸屏等相关掩膜版制作的应用

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-11-04
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VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400
大尺寸超高速圖形發生器
The Multi-Purpose Volume Pattern Generators


光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统

VPG +大尺寸曝光系统适合用于封装,半导体,显示器,彩色滤光片,LED和触摸屏等相关掩膜版制作的应用。

VPG +系统支持所有工业等级数据化格式,并提供Mura优化功能,呈现的CD均匀性和分辨率。

VPG + 1400是我们大的系统,特别针对显示器领域和FPD的应用,例如TFT数组和彩色滤光片以及ITO。

VPG + 1400具有高精度的设备架构,分辨率低至1.2 nm的差分干涉仪及的Mura校正功能。

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