24小时销售热线
13510161192
13510161192
产品中心
P产品分类RODUCT CATEGORY
A相关文章RTICLES
德国PVATePla等离子清洗机型号：IoN40等离子清洗机规格参数工作腔室材料：铝容积：36
产品型号：厂商性质：经销商更新时间：2024-11-04访 问 量：115
立即咨询
联系电话：
德国 PVA TePla 等离子清洗机
型号：IoN 40等离子清洗机
规格参数
工作腔室材料：铝
容积： 36.5 升
内部尺寸： 229 x 330 x 483 mm
工艺气体：
质量流量控制计： 最多至6路气体
工艺压力： 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间： 大约1分钟 (取决于真空泵)
放气：可调
射频发生器： 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源：220V 单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体：输入压力 1-2 bar
吹扫气体：输入压力 1-2 bar
压缩空气： 输入压力 4-6 bar
尺寸： 宽/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量： 约157千克（不含泵）
可选电极：
● 可抽卸的多层电极板
● 垂直电极
● 3层温控电极
● 低微粒电极
● 次级等离子体电极
可选项
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 300 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 单体处理装置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 气相MFC
我的位置：
