超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus8100"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌，包括作为SU8010的后续机型开发的"Regulus8100"以及SU8200系列的升级"Regulus8220""Regulus8230""Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化

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