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  • PEALD 原子层沉积系统
    1.ALD (传统的热原子层沉积);2.PEALD (等离子增强原子层沉积);3.Powder ALD (粉末样品的原子层沉积);仪器简介:原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD),也称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),或原子层化学气相沉积(Atomic Layer Chemical Vapor Deposition。
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    2023-05-19
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  • 脉冲激光沉积系统  Pioneer 180 MAPLE PLD
    基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)是PLD的一种变体。这是由NRL集团新引入的技术,以促进某些功能有机材料的薄膜沉积。基于UV (5-6 eV)的传统PLD技术中,光化学反应可能会恶化有机分子、聚合物等的功能。而在MAPLE中,通过将待沉积的有机物(或聚合物)与吸收激光波长的溶剂(基质)混合来制备特殊的靶。除了光学吸收外,在沉积条件下的高蒸气压是基质的先决条件。
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  • MC-LMBE / PAC-LMBE 激光分子束外延系统
    激光分子束外延(Laser MBE)是上个世纪90年代发展起来的一种新型高精密制膜技术,它集PLD的制膜特点和传统MBE的超高真空精确控制原子尺度外延生长的原位实时监控为一体,除保持了PLD方法制备的膜系宽,还可以生长通常的半导体超晶格材料,特别适合生长多元素、高熔点、复杂层状结构的薄膜,如超导体、光学晶体、铁电体、压电体、铁磁体以及有机高分子等。
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  • NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统
    NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,到6旋转平台,可支持到3个偏轴平面磁控管。
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  • 进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪 280SI
    美国Four Dimensions,Inc, 简称“4D”,成立于1978年,位于美国加州硅谷的Hayward, 4D公司专注于四探针设备和CV仪的生产和销售,累计销量达800台以上,遍布世界各大半导体Fab, 太阳能光伏企业,大学及科研机构。
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